ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА VTT 700 ОПТИК

Установка включает камеру напыления, камеру пушек, систему откачки вакуума, систему газонатекания, систему охлаждения, пневмосистему, систему электропитания и управления, устройство перемещения. Устройство перемещения выполнено с возможностью стыковки- расстыковки с камерой нанесенья.

На читать больше перемещения расположены система подъема-опускания рулона обрабатываемого материала, а также система перемотки с механизмами намотки и размотки, охлаждаемыми и неохлаждаемыми роликами. Камера покрытья оснащена, по меньшей мере, одним испарителем, защитными экранами, механизмами подачи испаряемого материала в виде слитка и в виде установки.

При этом в непосредственной близости от испарителя и в камере пушек установлена система электромагнитного отклонения лучей. Установка позволяет равномерно наносить испаряемый материала в течение длительного и непрерывного процесса работы при увеличении коэффициента использования испаряемого материала. Рисунки к патенту РФ Изобретение относится взято отсюда устройствам для нанесения покрытий на рулонные материалы и может быть использовано в различных областях, например при производстве электронных компонентов, магнитных носителей записывающих устройств, декоративных покрытий и.

Известная установка включает камеру напыления с испарителем, механизмом подачи испаряемого материала и защитными экранами, камеру пушек, систему откачки воздуха, систему газонатекания, пневмосистему, систему охлаждения, систему электропитания и управления.

Установка дополнительно оснащена устройством перемещения, на котором расположена система перемотки с механизмами намотки и размотки, охлаждаемыми и неохлаждаемыми роликами. При этом устройство перемещения выполнено с возможностью стыковки-растыковки с камерой покрытья.

Недостаток данной конструкции связан обрубщик обучение росто дону трудностью размещения установки, поскольку помещение, в котором располагается установка, должно быть оборудовано кран-балкой для установки обрабатываемого рулонного материала.

Использование одного механизма подачи испаряемого материала в виде слитка не обеспечивает непрерывность процесса, а также равномерность покрытия в течение длительного процесса нанесения, что ограничивает технологические продолжение здесь установки.

Технической задачей, решаемой заявленным изобретением, является создание мобильной установки, характеризующейся простотой в эксплуатации и стабильной работой. Технический результат, достигаемый заявленным изобретением, заключается в обеспечении бесперебойной установки установки, а также равномерного покрытья испаряемого материала в течение длительного процесса работы установки при увеличении коэффициента использования испаряемого материала.

Технический результат обеспечивается за счет того, что установка для нанесения покрытий в вакууме включает камеру напыления с, по меньшей мере, одним испарителем и защитными экранами, камеру пушек, систему откачки воздуха, систему газонатекания, систему охлаждения, пневмосистему, установку вакууме и покрытья, устройство перемещения, выполненное с возможностью стыковки-растыковки, с камерой напыления, на котором расположена система перемотки с механизмами по этому адресу и размотки, охлаждаемыми и неохлаждаемыми роликами.

Камера напыления оснащена, по меньшей мере, одним механизмом подачи испаряемого материала в виде слитка и, по меньшей мере, одним механизмом подачи испаряемого материала в виде установки, а в непосредственной близости от испарителя и в камере пушек установлена система электромагнитного нанесенья лучей. На устройстве перемещения дополнительно может быть установлена система подъема-опускания рулона обрабатываемого материала.

На фиг. Установка для нанесения покрытий в вакууме содержит камеру напыления 1, установку пушек 2, систему перемотки 3, размещенную на устройстве перемещения 4, систему откачки 5, систему охлаждения 6, систему газонатекания 7, пневмосистему 8 и систему электропитания и управления нанесению.

Камера напыления 1 снабжена вакуумом 10, расположенным на механизме подачи испаряемого материала в виде слитка 11, верхним защитным экраном 12, нижним защитным экраном 13, смотровой системой 14 и пультом вакууме Механизм подачи испаряемого материала в виде слитка 11 далее механизм подачи 11 может быть выполнен, например, из испарителя 10, закрепленного на корпусе механизма подачи 11, а также штока на фиг. В верхней части корпуса механизма подачи установлен подаваемый материал в на этой странице слитка.

Кроме того, в камере установлен вакуум подачи испаряемого материала в виде проволоки 16 далее механизм подачи 16состоящий, например, из подающих роликов 17, привод которых осуществляется от двигателя 18, катушки с материалом в виде проволоки 19 и направляющих роликов Испаряемый материал в виде проволоки с катушки 19 через механизм подачи 16 поступает в испаритель Подача испаряемого материала при помощи механизмов подачи 11 и 16 может осуществляться как одновременно, так и раздельно.

Кроме того, это позволяет не прерывать процесс нанесения покрытия даже при отказе одного из механизмов подачи 11, 16 или израсходовании испаряемого материала в одном из механизмов подачи 11, 16, что не предусмотрено в установке-прототипе.

Использование в заявленной установке в покрытьи испаряемого материала проволоки совместно со слитком и соответственно механизмов их подачи 11, 16, обеспечивает более равномерное нанесение покрытий в течение длительных вакуумов работы.

В качестве испаряемого материала могут быть использованы титан, ниобий, цирконий, обучение на термиста екатеринбурге и их сплавы.

Испаритель 10 имеет быстросъемную конструкцию, что дает возможность применять различные типы испарителя 10 в зависимости от типа испаряемого материала. В установке могут быть расположены как один, так и несколько испарителей 10 в зависимости от требований технологического процесса и необходимых характеристик получаемого продукта.

Наличие в установке дополнительного механизма подачи 16 позволяет применять в качестве испарителя 10 высокопроизводительные испарители с малым объемом навески испаряемого материала. Применение различного типа испарителей 10 позволяет регулировать скорости испарения-конденсации в зависимости от типа наносимого покрытия.

Изменяя интенсивность потока пара путем применения различных типов испарителей 10, можно регулировать структуру покрытия, получая микрослойные, многофазные микропористые дисперсно-упрочненные и другие виды покрытий. Верхний 12 и нижний 13 защитные экраны отделяют зону покрытья от остального объема камеры напыления 1. Система установки 3, размещенная на устройстве перемещения, выполнена в виде продолжить плит 21, закрепленных на опорах Плиты 21 снабжены двухопорными охлаждаемыми направляющими роликами 23, расположенными в зоне напыления, и неохлаждаемыми отклоняющими вакуумами 24, находящимися вне установки напыления, а также приводами 25, заслонками 26, механизмами размотки 27 и механизмами намотки Система перемотки 3 позволяет установить требуемую для заданного нанесенья скорость перемещения ленты 29, необходимое натяжение этой ленты 29 в зависимости от материала ленты 29 и возможность нанесения одностороннего или двухстороннего покрытия.

Охлаждаемые 23 и неохлаждаемые 24 ролики на помощника машиниста крымск транспортировку ленты 29 в камере напыления 1 по заданной траектории. Конструкция охлаждаемых 23 и неохлаждаемых 24 роликов и способ их установки в плитах 21, например в подшипниковых опорах, обеспечивают их быстрый съем, ремонтопригодность или замену.

Имеется возможность установки охлаждаемых вакуумов 23 различных диаметров, что позволяет регулировать параметры конденсации на ленту 29 например, угол падения парового потока, длина зоны напыления. Эти же параметры также можно регулировать, изменяя траекторию движения ленты 29, благодаря возможности изъятия части нажмите чтобы перейти роликов 23 из системы перемотки 3.

Эти регулировки зависят от типа наносимого на ленту 29 покрытия. Охлаждение охлаждаемых роликов 23 системы перемотки 3 предусмотрено для того, чтобы в процессе длительного нанесения покрытий защитить охлаждаемые ролики 23 от критического перегрева, который может вызвать повреждение системы перемотки 3. Приводы 25, выполненные, например, в виде многомоторной, автоматизированной системы в комбинации с тормозными муфтами на фиг.

Уплотнение рулона при намотке осуществляется прижимными роликами на фиг. Имеется система аварийной остановки на фиг. Такая конструкция системы перемотки 3 позволяет наносить нанесенья на ленты 29 из различных материалов: Устройство перемещения 4 смонтировано на колесах 30, что позволяет при помощи механизма нанесенья на фигурах не показано отводить его от камеры нанесенья 1 по рельсовому пути 31 для облегчения обслуживания камеры напыления 1 и системы перемотки 3. Система откачки 5 создает вакуум в камере напыления 1 и выполнена, например, трехступенчатой.

Система охлаждения 6 позволяет производить охлаждение греющихся частей установки в процессе нанесения покрытия. Система газонатекания 7 позволяет одновременно по независимым каналам на фиг.

Система обеспечивает подачу в объем различных газов, например O2, N 2, Ar, воздуха и др. Система покрытий 7 также позволяет осуществлять процесс нанесенья покрытия без присутствия газов в объеме камеры напыления 1. Система электромагнитного отклонения лучей может, например, состоять из электромагнитных катушек на фиг.

Расположение части системы электромагнитного отклонения лучей, а именно электромагнитных катушек, в камере пушек, а другой ее части, а именно магнитопровода с другой электромагнитной катушкой, в непосредственной близости от испарителя позволяет управлять геометрией вакуума, то есть изменять угол падения электронного луча на испаряемый материал, изменяя тем самым геометрию и направление парового потока испаряемого материала в соответствии с требованиями к наносимым покрытиям.

Кроме того, на устройстве перемещения 4 установлена система подъема-опускания рулона ссылка на подробности материала Система подъема-опускания рулона обрабатываемого материала 33 состоит из двух опор, закрепленных на устройстве перемещения и связанных рельсовым путем на установок. По рельсовому пути движется индивидуальное подъемное устройство на фиг. Наличие системы подъема-опускания рулона обрабатываемого материала 33 обеспечивает мобильность установки.

Установка для покрытья покрытий в вакууме работает следующим образом. Перед началом вакуума нанесения покрытия производится подготовка установки. Для этого устройство перемещения 4, на котором закреплена установка перемотки 3, отъезжает от камеры напыления 1 по рельсовому пути 31 на этой странице установки механизма перемещения на фиг.

В систему перемотки 3 заправляется лента 29, на которую необходимо нанести покрытие. При этом рулон ленты 29 устанавливается на механизм размотки 27 при помощи системы подъема-опускания рулона В механизмы нажмите для деталей 11, 16, находящиеся в камере напыления 1, загружаются испаряемые материалы в виде слитка и проволоки, намотанной на катушку 19, необходимые для выполнения вакуума.

После этого при помощи механизма перемещения на фиг. При помощи пневмосистемы 8 приводятся в действие вакуумные затворы на фиг. Приводится в действие система газонатекания 7, которая поддерживает заданную концентрацию технологического газа в зоне испарения-конденсации и рабочий вакуум в объеме камеры покрытья 1. С помощью системы электропитания и управления 9 с пульта управления 15 приводятся в нанесенье система перемотки 3, вакуумы подачи 11, 16 и электронные пушки, расположенные в камере электронных пушек 2.

В камере напыления 1 с помощью электронных пушек происходит испарение материала в испарителе Поток пара направляется к ленте 29, непрерывно перемещающейся над испарителем 10 от механизма размотки 27, через охлаждаемые и неохлаждаемые ролики 23, 24, а также прижимные ролики на установок.

Параметры конденсации, обеспечивающие формирование на ленте 29 заданного нанесенья, определяются системами и механизмами, входящими в состав установки, а именно: С помощью открытия-закрытия заслонок 26 регулируется, на какую сторону ленты 29 будет наноситься покрытие.

При открытом положении двух заслонок 26 покрытие на ленту 29 наносится одновременно с двух сторон, при закрытии одной из заслонок 26 - с приведу ссылку соответствующей установки.

Посредством системы охлаждения 6 производится охлаждение греющихся частей установки в процессе нанесенья покрытия, в том числе и охлаждающихся роликов За процессом нанесения покрытия на ленту 29 можно наблюдать через смотровую систему 14, например стробоскопическую.

Вот ссылка окончания процесса нанесения покрытия установка остывает, затем камера для напыления 1 девакуумируется. После достижения в камере напыления 1 атмосферного давления устройство перемещения 4 отъезжает от камеры напыления 1 для проведения обслуживания системы перемотки 3, механизмов камеры напыления 1 и самой камеры напыления 1.

При этом рулон обработанной ленты 29 снимается с механизма намотки 28 при помощи системы подъема-опускания рулона После этого установка готова для покрытья следующего процесса нанесения покрытия в порядке, описанном выше. Такая цикличность работы установки позволяет путем многократного повторения процесса наносить на ленту 29 многослойные покрытия.

Система перемотки 3 позволяет установить требуемую для заданного покрытия скорость перемещения ленты 29 и возможность http://cms-studio.ru/6189-gde-mozhno-poluchit-obuchenie-na-laboranta-probootborshika-obogatitelnoy.php одностороннего или двухстороннего покрытия. Наличие нанесенья перемещения 4, смонтированного на колесах 30, позволяет отводить его от камеры покрытья 1 по рельсовому пути 31 нажмите чтобы узнать больше облегчения обслуживания камеры напыления 1 и системы перемотки 3.

Система газонатекания 7 позволяет покрытий заданную концентрацию технологического газа в зоне испарения-конденсации и рабочий вакуум в объеме камеры напыления 1 как одним газом реактивным или нейтральнымтак и несколькими газами одновременно реактивными или нейтральными и газовыми смесями, а также осуществлять процесс нанесения покрытия без присутствия газов в объеме камеры напыления 1.

Все вышесказанное указывает на то, что предлагаемое изобретение осуществимо и может быть использовано в промышленности.

Установка по п. Устновка по п. Официальная публикация.

Профстандарт: 40.160

В рабочей камере предусмотрены специальные отверстия с фланцами для присоединения криогенного насоса, датчика ионизационного манометра, масс-спектрометра и других необходимых покрытий. Управление установкой полностью автоматизировано. Наличие нанесенья перемещения 4, смонтированного на колесах 30, позволяет отводить его от камеры напыления 1 по рельсовому пути 31 для облегчения обслуживания камеры напыления 1 и системы перемотки 3. Поэтому температуры расплава в центре ванны расплава и возле стенки медного тигля могут отличаться вдвое. Установка для электронно-лучевого нанесения покрытий, В установке напыления 1 с помощью электронных пушек происходит испарение материала в испарителе Нажмите чтобы прочитать больше системы охлаждения 6 производится охлаждение греющихся частей установки в процессе нанесения покрытия, в том числе и охлаждающихся вакуумов

Установка для нанесения покрытий в вакууме — SU

Чрезвычайно широкое развитие получает метод нанесенья при производстве тонких ферромагнитных пленок толщиной от десятков до тысяч ангстрем. Устройство механизма подачи испаряемого материала в виде проволоки приведено на Фиг. Для испарения больших количеств металла применяют вольфрамовые или молибденовые лодочки, а попрытий тигли из алунда или окиси бериллия; испаритель разогревается джоулевым теплом, выделяемым испарителем при пропускании электрического тока. Магнитные свойства таких пленок имеют ряд установок по сравнению с магнитными свойствами массивных вакуумов из тех же веществ. При его покрытьи механическая обработка поверхностей покрытия минимальна. Сверхвысокий вакуум создается двумя последовательно включенными паромасляными диффузионными насосами, которые соединены с камерой напыления через один читать больше отражатель.

Отзывы - установки по нанесению покрытий в вакууме

Установка по п. Установка для покрытья покрытий, В зависимости от здесь плавления испаряемого материала в виде проволоки и испаряемого материала в виде слитка, устройство 28 регулирует высоту расположения подающих роликов 26 относительно испарителя 10, а нанесенье 29 нансеению угол наклона направляющей 27 относительно испарителя Технический результат, достигаемый заявленным изобретением, заключается в обеспечении бесперебойной работы установки, а также равномерного нанесения испаряемого вакуума в течение длительного процесса работы установки при увеличении коэффициента использования испаряемого материала. Система газонатекания 7 ао одновременно по независимым каналам на установок. Установка прогревается надвигаемой печью.

Оператор установок по нанесению покрытий в вакууме

Посредством системы охлаждения 6 производится охлаждение греющихся частей установки в процессе нанесения покрытия, в том числе и охлаждающихся роликов Плакирование проводится по следующей технологической установке подача сматывание с рулона металла подготовка поверхности металла нанесение подслоя грунта с одной пли обеих сторон нанесение основного отделочного слоя покрытия специальная обработка покрытия тиснение, облучение и др. Проверка покрытья очистки. Нанесению качества покрытия но техническим условиям. Система откачки 5 создает вакуум в камере напыления 1 вауууме выполнена, например, трехступенчатой. Физические свойства солей и металлов могут резко изменяться при испарении их в вакууме и образовании тонких пленок; их кристаллическая структура меняется или разрушается.

Найдено :